[摘要]自德國的Henky教授在1914年制造出第一個熱流傳感器以來，經(jīng)歷了三個發(fā)展階段，具體如下： 第1階段：線繞式熱流傳感器； 第2階段：半導體式熱流傳感器； 第3階段：超薄（薄膜式）熱流傳感器
自德國的Henky教授在1914年制造出第一個熱流傳感器以來：
第1階段：線繞式熱流傳感器
上世紀20年代開始，在康銅絲或其它材料的熱電偶絲上利用電鍍工藝制造熱電堆。
典型結構：用金屬絲（如康銅）先在眾多的絕緣板條上繞線圈，然后將此金屬絲線圈（如康銅）的一半鍍上另一種金屬（如銅），在絕緣板條的兩面形成眾多串聯(lián)的熱電偶一一即串聯(lián)的熱電偶線圈——銅與康銅的交接點形成熱電偶的冷、熱節(jié)點（熱電堆）。多個熱電堆再焊接串聯(lián)或并聯(lián)后，平鋪粘結在兩平面絕緣保護硅膠板間形成熱流傳感器。
第2階段：半導體式熱流傳感器
上世紀60年代末開始，利用半導體工藝制造熱電堆。
典型結構：在硅片上用半導體工藝制造熱電堆，一般使用環(huán)氧樹脂封裝保護。
第3階段：超薄（薄膜式）熱流傳感器
上世紀90年代中開始，利用大規(guī)模集成電路制造工藝：濺射或激光熔刻技術制造熱電堆。
典型結構：使用濺射和激光熔刻技術制造熱電堆，一般使用聚酰亞胺薄膜封裝保護。